離子束拋光機(jī)是高束流密度、較小的束散角和較大束流均勻度的高能離子束轟擊光學(xué)元件表面,實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件高精度加工的拋光設(shè)備。高能離子的產(chǎn)生是基于高純度惰性氣體,經(jīng)過(guò)中空陰極,在電源模塊放電作用下產(chǎn)生電離,并將電子束流注入腔體內(nèi),電子束流經(jīng)過(guò)電子均勻板將束流均勻分散進(jìn)入到陽(yáng)極區(qū)域內(nèi),電子在陽(yáng)極的電場(chǎng)和磁場(chǎng)的作用下電力,并在柵網(wǎng)的電場(chǎng)作用下引出離子束流,通過(guò)系統(tǒng)控制,實(shí)現(xiàn)均勻、穩(wěn)定的光學(xué)元件表面去除。點(diǎn)擊獲取更多技術(shù)資料
優(yōu)勢(shì)
1、去除均勻,穩(wěn)定性優(yōu)于 98%。
2、去除函數(shù)是高斯形,半高寬可調(diào),從 40mm~0.1mm,從而實(shí)現(xiàn)各個(gè) 尺寸的口徑去除。
3、去除函數(shù)相對(duì) Z 軸移動(dòng)不敏感,可以實(shí)現(xiàn)大陡度的復(fù)雜曲面加工。