實(shí)現(xiàn)大口徑樣品全口徑自動測量,通過電腦處理,采用各種顏色顯示樣品通光面應(yīng)力分布狀態(tài);自動以文件形式存儲測量結(jié)果、存儲時(shí)間、日期、方法、樣品名稱、厚度、測量值、測量單位和結(jié)果圖像。
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實(shí)現(xiàn)大口徑樣品全口徑自動測量,通過電腦處理,采用各種顏色顯示樣品通光面應(yīng)力分布狀態(tài);自動以文件形式存儲測量結(jié)果、存儲時(shí)間、日期、方法、樣品名稱、厚度、測量值、測量單位和結(jié)果圖像。
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優(yōu)勢
1、可應(yīng)用于大尺寸元件應(yīng)力的測量;
2、現(xiàn)已實(shí)現(xiàn) 1000mmx1000mm 尺寸元件全口徑范圍內(nèi)應(yīng)力的測量 ;
3、具有高的測量效率的同時(shí)具有高的重復(fù)性測量精度
4、可以根據(jù)客戶的要求定制